В последнем квартале 2021 года продажи составили 4,986 млрд евро, валовая прибыль — 54,2%, чистая прибыль — 1,774 млрд евро. За три месяца, с октября по декабрь, было продано 72 новые фотолитографические системы и 10 бывших в употреблении. Примечательно, что за весь год подержанных фотолитографических систем было продано 23 штуки, из которых в первом полугодии — всего 6. Новых фотолитографических систем за год было продано 286 штук. Из них 42 системы — для литографии в жёстком ультрафиолетовом диапазоне (EUV).
Выручка за год в целом составила 18,611 млрд евро. Для сравнения: в 2020 году компания продала продукции на 13,979 млрд евро. Чистая прибыль за год выросла с 3,554 до 5,883 млрд евро.